Rigaku Holdings旗下集团公司、全球X射线分析系统解决方案合作伙伴Rigaku Corporation（总部：东京都昭岛市；总裁兼首席执行官：Jun Kawakami；以下简称“Rigaku”）与日本东北大学（宫城县仙台市；校长：Teiji Tominaga；以下简称“东北大学”）于2026年8月1日在东北大学共同成立了“Rigaku-东北大学X射线计量学联合创新研究所：超越极限”（以下简称“研究所”）。研究所将通过为期三年的初期合作（根据成果可延长合作期限），推进X射线计量学技术的发展、开发新型计量方法，并培养下一代研究人员。
随着半导体器件日益微缩化、多层化，并采用更多种类的材料，其制造工艺正变得愈发复杂。X射线计量学技术对于支持稳定量产所需的高精度无损分析至关重要，但传统技术在微结构评估和深度方向上的精确结构分析等领域已逐渐接近极限。应对这些挑战需要新的计量技术，包括软X射线（波长比传统X射线更长、能量更低的X射线），并与同步辐射设施合作构建更强的技术能力。
此外，培养能够系统理解先进的X射线计量学技术，并将其应用于产业界和学术界的专业人才也变得日益重要。
为应对技术和人力资源这两大挑战，东北大学与Rigaku共同成立了一个新的研究所，前者拥有下一代同步辐射设施NanoTerasu并在信息科学领域处于领先地位，后者则在X射线计量学领域拥有专业技术和可靠的过往业绩。研究所以“超越极限”为口号，旨在融合技术创新与人才培养，突破当前X射线计量学的界限。
研究所致力于实现以下三大目标：
1. 推进X射线计量学技术
研究所将利用NanoTerasu在软X射线领域的优势，结合东北大学在信息科学领域的专业知识与Rigaku的技术诀窍，推进数据分析工作，进而开发微结构计量技术。其目标是建立能够满足日益复杂的计量与分析需求的技术基础。
2. 促进合作研究
研究所将在需要X射线计量学的广泛领域开展合作研究，包括传统技术无法解决的挑战。
3. 培养和支持下一代研究人员与工程师
研究所将系统地教授从基础知识到新材料、新结构应用的X射线计量学技术，目标是开设计入学分的课程，旨在培养能够为产业界和学术界做出贡献的研究人员和工程师。此外，Rigaku奖学金制度将为从事X射线相关研究的研究生提供奖学金，支持他们开展学位论文相关学术研究，同时推动相关研究成果在实用计量技术中的应用。
在最初的三年期限内，研究所将专注于实现其联合研究计划的目标。研究重点将放在半导体软X射线计量学的实际应用，以及通过信息科学推进数据分析技术。在这些成就的基础上，研究所将把研究范围扩大到电子材料和功能材料等更广泛的领域，在这些领域，对微结构和材料状态的精确表征至关重要。
通过培养具备为产业界和学术界做出贡献的技能的研究人员和工程师，研究所旨在促进X射线计量学领域的知识交流循环，并帮助建立可持续的创新基础。
Rigaku Corporation X射线研究实验室总经理、研究所首席运营官兼特聘教授Kazuhiko Omote表示：“Rigaku成长的动力在于，每当出现新的计量目标时，我们都能利用X射线技术提供最佳解决方案。尽管X射线被发现已超过130年，其基本原理似乎已被充分阐明，但我坚信X射线仍蕴藏着无数尚未被揭示的可能性。解锁这些可能性需要下一代的贡献。在本研究所，我们的目标是与东北大学的学术专家合作，探索未知领域，同时培养迎接这些挑战的下一代人才。”
东北大学同步辐射创新智能国际中心主任、研究所运营支持官Daichi Chiba表示：“X射线计量学是支持半导体、材料和生命科学等广泛领域的基础技术。持续的创新对于释放其全部潜力至关重要。本研究所不仅旨在成为连接Rigaku的先进技术能力与东北大学包括NanoTerasu在内的研究基础设施的平台，更致力于创造一个良好的环境，让不同学科、不同代际以及产学界之间的多元思想相互启发，催生新的理念和技术。正如其名称‘超越极限’所示，我们希望摆脱现有框架的束缚，与下一代研究人员和工程师共同塑造X射线计量学技术的未来。我们希望研究所能够成为突破现有技术极限的创新平台。”
联合创新研究所概览
名称：Rigaku–东北大学X射线计量学联合创新研究所：超越极限
活动：推进X射线计量学发展、开发新型计量方法以及培养下一代研究人员
管理架构：
(1) 首席运营官兼特聘教授：
Kazuhiko Omote
Rigaku Corporation X射线研究实验室总经理
(2) 运营支持官：
Daichi Chiba
东北大学同步辐射创新智能国际中心主任
纳米材料功能创造智能实验室教授
地点：东北大学
运营期限：2026年8月1日至2029年7月31日
期限可根据取得的成果延长。
关于Rigaku Group
Rigaku集团成立于1951年，长期汇聚工程技术领域的专业力量，致力于以前沿科技推动社会进步，其核心技术优势主要集中在 X 射线分析与热分析领域。集团业务网络覆盖 136个国家和地区，在全球9个运营基地拥有约2,000名员工，是工业界与科研分析机构值得信赖的解决方案合作伙伴。目前，Rigaku的海外销售占比约70%，同时在日本本土市场保持着极高的市场占有率。集团始终与客户携手同行，在协同创新中持续成长。随着应用领域不断从半导体、电子材料、电池、环境、资源与能源拓展至生命科学及其他高科技领域，Rigaku持续践行其企业愿景——“To Improve Our World by Powering New Perspectives”（以全新视角的力量，推动世界进步）。
研究所内部
研究所内部
NanoTerasu鸟瞰图 ©东北大学
NanoTerasu鸟瞰图 ©东北大学